- IMEC等聯(lián)合開發(fā)出將振動(dòng)能量轉(zhuǎn)換為電力的MEMS元件
- 并獲得了最大85μW的電力
比利時(shí)研究機(jī)構(gòu)IMEC、荷蘭研究機(jī)構(gòu)Holst Centre與TNO在“2009 IEEE International Electron Devices Meeting（IEDM 2009）”上宣布，聯(lián)合開發(fā)出了將振動(dòng)能量轉(zhuǎn)換為電力的MEMS元件，并獲得了最大85μW的電力。此前IMEC開發(fā)出的MEMS元件中，最大電力為60μW。
此次的元件是采用6英寸硅晶圓形成硅MEMS，然后在此處積層壓電材料AlN（氮化鋁）后制作出來的。原來壓電元件一直采用PZT（鋯鈦酸鉛）。AlN在積層時(shí)無需精密調(diào)整鋁（Al）與氮（N）的比例，積層速度比PZT快3倍。通過改變MEMS的尺寸等，元件的諧振頻率可設(shè)定在150～1200Hz的范圍內(nèi)。
另外，IMEC等還將該MEMS元件實(shí)際封裝于無線發(fā)送數(shù)據(jù)的溫度傳感器中。該溫度傳感器以10μW的電力工作，因此一旦施加加速度為0.64g、振動(dòng)頻率為353Hz的振動(dòng)，便可每隔15秒向基站傳送溫度數(shù)據(jù)。
